真空度测试仪漏电电流的处理
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真空度测试仪漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时,会有数值不等的几个微安的漏电电流,此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室,由于其周边的绝缘支撑件也有漏电,这此漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性,并且在数值上与10E- 4Pa 数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法,扣除了漏电电流,保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。